NANOELEKTRONIK

Bauelemente der Zukunft

Edition: 2., updated and expanded edition

Alexander Klös

eISBN: 978-3-446-47900-5

Print ISBN: 978-3-446-47899-2

Vorwort zur 2. Auflage

Kaum ein Gebiet der Ingenieurwissenschaften entwickelt sich so rasant wie die Nanoelektronik. Seit der Drucklegung der ersten Auflage dieses Buchs wurden neue Bauelementkonzepte entwickelt, die für die weitere Entwicklung der Großintegration sehr vielverspechend sind.

Heute bereiten die drei wirtschaftlich größten Halbleiterhersteller den Übergang zu sogenannten Nanosheet-Transistoren vor. Durch konsequente Weiterentwicklung dieses Konzepts haben 2D-Materialien in der Nanoelektronik inzwischen eine große Bedeutung erlangt und werden für neue Transistorstrukturen erforscht. Diese Entwicklungen sind jetzt in der neuen Auflage des Buchs enthalten.

Weiterhin wurden die Grundlagenkapitel zur Halbleiterphysik erweitert, um dem Anspruch des Buchs als umfassendes und alleiniges Begleitbuch für Vorlesungen auch in Masterstudiengängen gerecht zu werden. Hierbei wird insbesondere der Einführung der Bandstruktur von Halbleitern und der Berechnung von Tunnelströmen mehr Raum gewidmet. Eine Vielzahl von kleineren Änderungen und Aktualisierungen in allen sonstigen Kapiteln und eine Übersicht der empfohlenen Simulationstools auf der Plattform nanohub.org runden die neue Auflage ab.

An dieser Stelle sei darauf hingewiesen, dass aus Gründen einer einheitlichen Darstellung im Text und in den grafischen Darstellungen der Punkt als Dezimaltrennzeichen entsprechend dem englischen Sprachraum verwendet wird.

Chapter	Pages
Nanoelektronik	1–13
1 Einführung in die Nanoelektronik	15–18
2 Eigenschaften von Halbleitern	19–38
3 Teilchen und Wellen	39–64
4 Bandstruktur und Bändermodell	65–104
5 Ladungstransport in Halbleitern	105–124
6 Grundlagen der Halbleitertechnologie	125–146
7 Klassische Bauelemente der Mikroelektronik	147–222
8 Digitale CMOS-Schaltungstechnik	223–242
9 Nanostruktur-Feldeffekttransistoren	243–302
10 Alternative Nanostruktur-MOSFETs	303–334
Konstanten und Materialparameter	335–336
Simulationstools	337–344
Formelzeichen	345–350
Literatur	351–354
Index	355–362